聚酰亞胺薄膜的商品化(huà)始於1965年DuPont公司大(dà)規模生產的Kapton薄膜。之(zhī)後Kanegafuchi化學工業公司和Ube工業公司(sī)在20世紀80年代也實現了聚酰亞胺薄膜的商品化。
DuPont公司以商(shāng)品名Kapton向市場推出一係列(liè)聚(jù)酰亞胺材料。有關材料的(de)詳細性能資料可向DuPont高性能(néng)薄膜材料公司和DuPont日本分公司索取。
適用於微(wēi)電子工業的薄膜有H(N)型、V(N)型、E(N)型和K(N)型等型號。N表示薄膜材料中是(shì)否含有可降低材料摩擦(cā)係數(shù)和增(zēng)強卷曲性能(如卷一卷(juàn)轉移等(děng))的無機潤滑(huá)添加劑(約在1000 ppm數(shù)量級)。對於大多數應用,材料都需要潤滑填充劑(jì),而(ér)字母N表示含有潤滑劑。
H(N)和V(N)型薄膜都是由均苯四酸二酐(PMDA),和4,4 7一(yī)二氨基二苯醚(ODA)經化學反應製備的。它們的不同之處在於V(N)比H(N)型材(cái)料具有優異的體積穩定性,在25℃~300℃的溫度範圍內(nèi)的收縮率很小。
E(N)型薄(báo)膜也含有PMDA和ODA,但同時也含有其(qí)他的有機芳香族四酸二酐,如3,3’,4,4’一聯苯四酸二酐(BPDA)和對苯二胺(PPD)等。
E(N)型薄膜(mó)含有四種類型的酰亞胺鍵。不同的(de)單體配比對材料的性能影響很大,但商品化的(de)材料中確切的單體配比至今也沒(méi)有公(gōng)開。E(N)型薄膜具有比H(N)或V(N)型薄膜更高(gāo)的模(mó)量、更低的熱(rè)膨脹係數以及更低的吸濕性。它的優點是在工藝過程(chéng)中形變小,因(yīn)此更適合於和導電層如銅相匹配(pèi),同時(shí)在(zài)器件(jiàn)鍵合過程中不易(yì)起泡(pào)。另外,E(N)薄(báo)膜(mó)還可(kě)以用堿性溶液刻蝕製作圖形。
K(N)型聚酰亞胺薄(báo)膜由PMDA、ODA和PPD等單體製備,但是,兩種有機芳香族二胺之間的克分子比至(zhì)今還(hái)沒有公開。K(N)型薄膜旨在提供一種模量介於H(N)型或V(N)和E(N)型之問、TCE和銅相近、在堿性溶液中容易刻蝕的材料。其吸濕性(xìng)比H(N)型、V(N)型和E(N)型的高。