(1)a射線(xiàn)的屏蔽在大規模集成的(de)存儲器 如隨(suí)機存儲器(RAM)中,集(jí)成電路的芯片是封裝在陶瓷材料中的,業已觀察到在這種封裝材(cái)料中有微量的鈾等放射性雜質,由此產生一(yī)定量的a射(shè)線,對於4K位存儲器影響不大,否則(zé)a射線引起的軟損傷就不可忽略(luè),此(cǐ)時需(xū)在封裝前塗上(shàng)一層50~100/-m厚的PSPI膜,光刻成圖像後進行亞胺化,PI膜便起到(dào)屏蔽的功能。
(2)集成電路中多層布線的絕(jué)緣層 聚酰亞胺是優良的(de)電絕緣材料,利用PSPI光刻膠,在芯片中作為(wéi)多層布(bù)線的層間絕緣是很有價值的技術。
(3)平坦化作用(yòng) 在集成電(diàn)路製造工藝中(zhōng),經過形(xíng)成介電層和導電層的工序後,襯底的形貌發生很大的變化,表麵高低不平,給(gěi)後麵的工序(如光(guāng)刻、布線)帶來問題。為此可采用PSPI光刻膠對加工表(biǎo)麵進行平坦化處理,平坦化層可以起到介(jiè)電層作用。
(4)緩衝作用 在芯片與(yǔ)塑(sù)料封之間增加一層聚酰亞(yà)胺膜作為緩衝層,可減(jiǎn)少器(qì)件組裝過程中因(yīn)材料膨脹(zhàng)係數的差別引(yǐn)起的熱應力(lì),從而可提高器件的可靠性。
(5)用PSPI製作掩膜用 聚酰亞胺具有(yǒu)優良的耐熱性與化學(xué)穩定性,因此,由(yóu)PSPI光刻膠製成PI掩(yǎn)膜,可(kě)在普通光刻膠(jiāo)不能勝任的環境中實施微細加工,如離子注入、幹法刻蝕、電鍍或焊接等的掩(yǎn)膜。
除上(shàng)述以外,PSPI還可用在電光器(qì)件(jiàn)、液晶顯示器件的定向層等方麵。